簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "退火".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="預先退火"


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    濺鍍矽膜結構對低溫固態磊晶成長的影響及改善
    • 電子工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 王興筠 指導教授: 王秀仁
    • 針對使用DC做為電源的Sputter在(100)方向的矽晶圓上所沉積的非晶矽薄膜,以高溫爐600°C的退火方式,在充滿氮氣的環境之下對非晶矽薄膜進行固態磊晶成長,並且分別以R-HEED(反射式高能電…
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